工業(yè)純水純度指標(biāo)
美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo) 化學(xué)指標(biāo)單位:μg/L
項 目
Ⅰ級
Ⅱ級
Ⅲ級
Ⅳ級
殘渣,mg/L
0.1
0.3
0.5
TOC,mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
顆粒,粒/L
500
1000
2500
5000
細(xì)菌數(shù),個100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2,μg/L
3
5
40
電阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
陽離子,μg/L
0.2
2.0
5.0
*
鋁 Al3+
銨 NH4+
鉻 Cr6+
鐵 Fe 3+
銅 Cu 2+
錳 Mn 2+
1.0
鉀 K +
4.0
鈉 Na +
鋅 Zn 2+
0.03
陰離子,μg/L
溴 Br -
氯 Cl -
0.8
亞硝酸根 NO2-
硝酸根 NO3-
磷酸根 PO43-
硫酸根 SO42-
Copyright@2000-2015深圳市世駿純水科技有限公司 粵ICP備11013763號 地址:公司地址:深圳市龍華新區(qū)梅龍路陽光新境園G棟8A 廠址:深圳市龍華觀瀾泗黎北路捷坤工業(yè)園2棟 電話:0755-28187578 傳真:0755—28192610 QQ:776910437 24 小時售后服務(wù)電話:13602676616 咨詢電話 :13713802833 郵箱 szstream@126.com