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        離子交換設(shè)備
        精密過濾設(shè)備
        EDI電除鹽系統(tǒng)
        EDI工作原理
        EDI優(yōu)點(diǎn)
        直飲水PK桶裝水
 
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    工業(yè)純水純度指標(biāo)


    美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo) 
    化學(xué)指標(biāo)單位:μg/L

    項 目

    Ⅰ級

    Ⅱ級

    Ⅲ級

    Ⅳ級

    殘渣,mg/L

    0.1

    0.3

    0.3

    0.5

    TOC,mg/L

    0.02

    0.05

    0.10

    0.40

    顆粒,粒/L

    500

    1000

    2500

    5000

    細(xì)菌數(shù),個100mL

    0

    6

    10

    50

    活性硅SiO2,μg/L

    3

    5

    10

    40

    電阻率MΩ·cm

    18.3

    17.9

    17.5

    17.0

    陽離子,μg/L

    0.2

    2.0

    5.0

    *

     Al3+

    0.2

    2.0

    5.0

    *

     NH4+

    0.3

    0.3

    0.5

    *

     Cr6+

    0.02

    0.1

    0.5

    *

     Fe 3+

    0.02

    0.1

    0.2

    *

     Cu 2+

    0.02

    0.1

    0.5

    *

     Mn 2+

    0.05

    0.5

    1.0

    *

     K +

    0.1

    0.3

    1.0

    4.0

     Na +

    0.05

    0.2

    1.0

    5.0

     Zn 2+

    0.03

    0.1

    0.5

    *

    陰離子,μg/L

    0.1

    0.1

    0.3

    *

     Br -

    0.1

    0.1

    0.3

    *

     Cl -

    0.05

    0.2

    0.8

    *

    亞硝酸根 NO2-

    0.05

    0.1

    0.3

    *

    硝酸根 NO3-

    0.1

    0.1

    0.5

    *

    磷酸根 PO43-

    0.2

    0.2

    0.3

    *

    硫酸根 SO42-

    0.05

    0.3

    1.0

    *

 

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